SEMISTAR-VD95D
大動作范圍：最大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。
手臂采用連桿機構實現高鋼性。
采用真空內傳送帶驅動實現低放出氣體性能。
手臂可內置基板傳感器用配線。
| 項目 | 規格 | 備注 | |
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| 名稱 | SEMISTAR-VD95D |
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| 機型 | XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜) |
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| 構造 | 水平多關節形(4個自由度) |
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| 動作范圍 | L，R軸(伸縮) | 2300mm |
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S軸(旋轉) | -170°~+170° |
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U軸(升降) | 150mm |
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動作時間*1 (最高速度運作時) |
L，R軸(伸縮) | 3.2秒以下 | 2300mm伸縮距離 |
| S軸(回轉) | 3.8秒以下 | 340deg旋轉距離(但L，R=0) | |
| U軸(升降) | 2.5秒以下 | 150mm升降距離 | |
| 重復定位精度*2 | 各軸±0.3mm | 抓手安裝部分中心位置時 | |
| 手臂抖動精度 | ±0.3mm以下 | 水平方向，抓手安裝部分中心位置時 | |
| 負載 | 95KG/手臂 | 含抓手重量 | |
| 容許慣性力矩(CD2/4) | 最大118kg·m2 | 含抓手重量，抓手安裝部分中心位置時 | |
| 耐真空度 | 1*10-6Pa |
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| 本體質量 | 1500kg |
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| 適用控制柜式樣 | ERDR-VD0095D-A00 | 三相AC200V，3.0kVA | |
*1：動作節拍不保證帶有基板時搬運速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產生共振時，會影響動作節拍，請重新設定。
*2：依據JIS B8432標準的動作重復定位精度。但有無工件時負載變動以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內。